ALR4000激光划切机

    要特点

    划片速度快、产能高;

    良率高,设备稳定;

    维护简单。


    要功能配置:

    进口20W光纤激光器 精度高、寿命长;

    θ轴采用直驱式DD马达,精度高,速度快;

    具备高速图像识别功能,多种对准模式,快速寻找加工物的切割道,提高加工效率。


    适应范围:

    6英寸集成电路晶圆、太阳能电池、GPP二极管、GPP可控硅、其他Low-K材料的加工开槽加工。


    详情

    技术指标:


    最大工作物尺寸

    mm

    ? 8"200mm×200mm方形

    最大切割深度

    mm

    0.120(根据材料决定)

    激光器功率

    W

    20(激光器出口处)

    X&

    Y

     

     

     

     

    可切削范围

    mm

    210

    移动量分辨率

    mm

    0.001

    单步步进量

    mm

    0.001

    定位精度

    mm

    0.003以内/210     0.004以内/5 (单一误差)

    重复精度

    mm

    0.002

    进刀速度输入范围

    mm/s

    0.1 - 150 

    θ轴

     

     

     

    最大旋转角度

    deg

    360

    旋转速度

    rpm

    120

    转角精度

    15

    最小转角分辨率

    deg

    0.0005

    Z

     

     

    可移动范围

    mm

    10

    移动量分辨率

    mm

    0.001

    定位精度

    mm

    0.005以内/10

    其他

    规格

     

     

     

     

     

     

     

    电源

     V

    三相AC380V ±10

    上述以外需配置变压器

    耗电量

    加工时

    kW

    2.0(参考值)

    暖机时

    kW

    0.8(参考值)

    压缩空气供给压力

    Mpa

    0.5 - 0.8

    压缩空气最大消耗量

    L/minANR

    50

    排风量

    m3/min

    1.5

    设备尺寸(W × D × H

    mm

    690 × 940 × 1,680

    设备重量

    kg

    400




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